您好!欢迎访问东莞市绿健水处理设备广西快3网站!
您的位置: 广西快3 ->  技术资料 -> 多晶硅片清洗对纯水水质的要求

多晶硅片清洗对纯水水质的要求


     硅是地球上储藏最丰富的材料之一,从19世纪科学家们发现了晶体硅的半导体特性后,它几乎改变了一切,甚至人类的思维。直到上世纪60年代开始,硅材料就取代了原有锗材料。

    硅材料――因其具有耐高温和抗辐射性能较好,特别适宜制作大功率器件的特性而成为应用最多的一种半导体材料,目前的集成电路半导体器件大多数是用硅材料制造的。现在,我们的生活中处处可见的身影和作用,晶体硅太阳能电池是近15年来形成产业化最快的。

      熔融的单质硅在凝固时硅原子以金刚石晶格排列成许多晶核,如果这些晶核长成晶面取向相同的晶粒,则这些晶粒平行结合起来便结晶成单晶硅。单晶硅的制法通常是制得多晶硅或无定形硅,然后用直拉法或悬浮区熔法从熔体中生长出棒状单晶硅。单晶硅棒是生产单晶硅片的原材料,随着国内和国际市场对单晶硅片需求量的快 速增加,单晶硅棒的市场需求也呈快速增长的趋势。

      单晶硅圆片按其直径分为6英寸、8英寸、12英寸(300毫米)及18英寸(450毫米)等。直径越大的圆片,所能刻制的集成电路越多,芯片的成本也就越 低。但大尺寸晶片对材料和技术的要求也越高。单晶硅按晶体生长方法的不同,分为直拉法(CZ)、区熔法(FZ)和外延法。直拉法、区熔法生长单晶硅棒材, 外延法生长单晶硅薄膜。直拉法生长的单晶硅主要用于半导体集成电路、二极管、外延片衬底、太阳能电池。

    目前晶体直径可控制在Φ3~8英寸。区熔法单晶主要 用于高压大功率可控整流器件领域,广泛用于大功率输变电、电力机车、整流、变频、机电一体化、节能灯、电视机等系列产品。目前晶体直径可控制在Φ3~6 寸。外延片主要用于集成电路领域。

      由于成本和性能的原因,直拉法(CZ)单晶硅材料应用最广。在IC工业中所用的材料主要是CZ抛光片和外延片。存储器电路通常使用CZ抛光片,因成本较低。逻辑电路一般使用价格较高的外延片,因其在IC制造中有更好的适用性并具有消除Latchup的能力。

      单晶硅也称硅单晶,是电子信息材料中最基础性材料,属半导体材料类。单晶硅已渗透到国民经济和国防科技中各个领域,当今全球超过2000亿美元的电子通信半导体市场中95%以上的半导体器件及99%以上的集成电路用硅。

 多晶硅是由许多硅原子及许多小的晶粒组合而成的硅晶体。由于各个晶粒的排列方向彼此不同,其中有大量的缺陷。多晶硅一般呈深银灰色,不透明,具有金属光泽, 性脆,常温下不活泼。多晶硅是用金属硅(工业硅)经化学反应、提纯,再还原得到的高纯度材料(也叫还原硅)。目前世界上多晶硅生产的方法主要有改良西门子 法(SiHCl3)、新硅烷法(SiH4)、SiH2Cl2热分解法、SiCl4法等多晶硅生产工艺。当前全球多晶硅的市场状况是:从国际上来看,早几年 多晶硅还处于供过于求的局面,2004年开始,由于太阳能产业的发展,太阳能用多晶硅供不应求,导致全球多晶硅供应紧张。在国内,我国多晶硅生产长期不能 满足国内市场需要,严重依赖于进口。

 太阳能电池,中文名称:太阳能电池板 英文名称:solar cell panel 定义:由若干个太阳能电池组件按一定方式组装在一块板上的组装件.太阳能电池板 Solar panel,分类:晶体硅电池板:多晶硅太阳能电池、单晶硅太阳能电池。非晶硅电池板:薄膜太阳能电池、有机太阳能电池。太阳能电池板:太阳能电池板是太 阳能发电系统中的核心部分,也是太阳能发电系统中价值最高的部分。其作用是将太阳能转化为电能,或送往蓄电池中存储起来,或推动负载工作。太阳能电池板的 质量和成本将直接决定整个系统的质量和成本。

多晶硅片,半导体器件生产中硅片须经严格清洗。微量污染也会导致器件失效。清洗的目的在于清除表面污染杂质,包括有机物和无机物。这些杂质有的以原子状态或离子状态, 有的以薄膜形式或颗粒形式存在于硅片表面。有机污染包括光刻胶、有机溶剂残留物、合成蜡和人接触器件、工具、器皿带来的油脂或纤维。无机污染包括重金属 金、铜、铁、铬等,严重影响少数载流子寿命和表面电导;碱金属如钠 等,引起严重漏电;颗粒污染包括硅渣、尘埃、细菌、微生物、有机胶体纤维等,会导致各种缺陷。所以清洗多晶硅、半导体、太阳能光伏电池板必须用超纯水,目前制取超纯水工艺可分为反渗透+混床超纯水设备,二是反渗透+EDI超纯水设备,这是两种制取超纯水设备常用的工艺。 

 多晶硅片,半导体器件,太阳能光伏行业硅片清洗水质要求非常高,电阻率达18兆以上,目前首选工艺是全膜法制取超纯水,全膜法超纯水设备是指采用盘滤+UF+RO+EDI+SMB组成的工艺设备,即预处理采用盘滤过滤器+超滤工艺,除盐采用二级反渗透EDI工艺使产水电阻率达到15MΩ。cm 上,终端供水采用变频供水泵+二级精精混床+终端超滤膜使产水电阻率达到18.2MΩ.cm,经处理后的产水水质达到《电子级水 GB/T11446。1-1997 Ⅰ级》水质标准。

      绿健水处理生产的超纯水设备处理:按客户要求设计   出水指标:≥15-18.2MΩCM

产水用途:电子、单晶硅/多晶硅用工业超纯水、纯水、单晶硅多晶硅清洗超纯水、硅片硅材料清洗超纯水

 

相关搜索:超纯水处理设备系统    工业生产对纯水或超高纯水水质的要求    混床超纯水设备的应用及特点   



本文关键词: 东莞水处理设备   反渗透加混床超纯水设备   工业高纯水设备

本文网址: http://www.yahunf.com/dgweb_content-470989.html

*版权所有*,转载请注明出处,并以链接形式链接网址 :www.yahunf.com    


网站广西快3关于绿健产品中心公司动态技术资料工程案例客户服务客户留言联系我们
东莞市绿健水处理设备广西快3 版权所有 © Copyright 2015 
工信部备案号: 【】
地址:东莞市石碣镇同富西路55号华科城智谷高新科技园B栋一楼 电话:13356461640 联系人:施先生【Bmap】【Gmap】访问量:
*本站相关网页素材及相关资源均来源互联网,如有侵权请速告知,我们会在24小时内删除* 技术支持: 【后台管理
关闭

销售部

客服部
广西快3走势图 广西快3 吉林快3 广西快3平台 吉林快三走势图 广西快3 广西快3走势图 吉林快3官网 广西快3 吉林快3官网