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超纯水设备/EDI高纯水系统工艺流程及应用范围


    水质达到美国ASTM标准,电子部超纯水水质标准(18MΩ/cm,15MΩ/cm,2兆欧/厘米和0.5兆欧四级) 。

◆原水→原水箱→原水泵→砂过滤器→碳过滤器→软化过滤器→高压泵→保安过滤器→反渗透装置→中间水箱→EDI增压泵→EDI装置→精密过滤器→用水点

◆源水→源水储水箱→增压泵→机械过滤器→活性炭过滤罐→阻垢系统→主机泵→不锈钢保安过滤器→反渗透设备-中间水箱-混床增压泵-阴阳离子交换混床-纯化水箱-核级混床增压泵→精制核能级混床→紫外线杀菌器→0。22U精密过滤器-用水点


◆ 原水箱→原水增压泵→多介质过滤器→铁锰过滤器→软化水设备→反渗透精密过滤器→一级主机泵→一级反渗透净化水装置→二级主机泵→二级反渗透净化水装置→ 纯水箱-EDI增压泵→EDI高纯水装置→紫外线杀菌器-0。22或0。5 μ m精密过滤器(或称保安过滤器)-用水点


超纯水设备/EDI高纯水系统应用范围

◆半导体材料、器件、印刷电路板和集成电路;
◆超纯材料和超纯化学试剂;
◆实验室和中试车间
◆汽车、家电表面抛光处理;
◆其他高科技精微产品。


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