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集成电路生产应关注超纯水水质


      电子产品生产中纯水系统应根据原水水质和产品生产工艺对水质的要求,结合系统规模、材料及设备供应等情况,通过技术经济比较来选择。纯水系统万人斗地主的原水水质因各地区、城市的水源不同相 差很大,有的城市以河水为水源,即使是河水,其河水的源头和沿途流经地区的地质、地貌不同,水质也是不同的;有的城市以井水为水源,井的深度不同、地域不 同、地质构造不同均会千差万别;现在不少城市的水源包括河水、湖水、井水等,有的城市各个区、段供水水质也不相同。所以纯水系统的选择,根据原水水质的不 同,差异很大,是否选择原水预处理,预处理设备的种类、规模都与原水水质有关。因此电子工厂洁净厂房的纯水系统的选择应根据原水水质和电子产品生产工艺对 水质的要求,结合纯水系统的产水量以及当时、当地的纯水设备、材料供应等情况,综合进行技术经济比较确定。

       在超大规模集成电路的超纯水万人斗地主水质中,优先关注的水质指标为:电阻率、微粒、TOC(总有机硅)、硅、碱金属、碱土金属、重金属、溶解氧等。水溶液之所以导电,是因为水中各种溶解盐都是以离子态存在的,在集成电路芯片制造过程中,与硅片接触的水所含离子越多,对产品良率影响就越大。 电阻率反映了超纯水中离子的含量,超纯水的电阻率越高,其纯度也就越高。一般来讲,在25℃时,理论纯水的电阻率是18.25MΩ·cm。

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